分析范圍0~50微米
分析誤差5%
分析時間30秒
重復(fù)性0.1%
電源電壓220V
EDX2000A能量色散X熒光光譜儀(全自動微區(qū)膜厚測試儀)對平面、凹凸、拐角、弧面等簡單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進(jìn)行快速對焦分析,滿足半導(dǎo)體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試需求。通過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動,雙激光定位和保護(hù)系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域
電鍍行業(yè)、電子通訊、新能源、五金衛(wèi)浴、電器設(shè)備
汽車制造、磁性材料、貴金屬電鍍、高校及科研院所等
測厚儀產(chǎn)品特性
★進(jìn)口高精度傳感器,保證了測試精度
★嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的接觸面積和測量壓力,同時支持各種非標(biāo)定制
★測量頭自動升降,避免了人為因素造成的系統(tǒng)誤差
★手動、自動雙重測量模式,更方便客戶選擇
★配備微型打印機(jī),數(shù)據(jù)實(shí)時顯示、自動統(tǒng)計(jì)、打印,方便快捷地獲取測試結(jié)果
★打印值、小值、平均值及每次測量結(jié)果,方便用戶分析數(shù)據(jù)
★儀器自動保存多100組測試結(jié)果,隨時查看并打印
★標(biāo)準(zhǔn)量塊標(biāo)定,方便用戶快速標(biāo)定設(shè)備
★測厚儀配備自動進(jìn)樣器,可一鍵實(shí)現(xiàn)全自動多點(diǎn)測量,人為誤差小
★軟件提供測試結(jié)果圖形統(tǒng)計(jì)分析,準(zhǔn)確直觀地將測試結(jié)果展示給用戶
★配備標(biāo)準(zhǔn)RS232接口,方便系統(tǒng)與電腦的外部連接和數(shù)據(jù)傳輸
X熒光鍍層測厚儀配置
01 立的X/Y/Z軸控制系統(tǒng)
02 微焦斑X光管
03 可變高壓電源
04 防撞板外加防撞激光保護(hù)檢測器對儀器進(jìn)行雙重安全保護(hù)
05 Fast-SDD探測器
06 雙激光定位裝置
07 標(biāo)配可自動切換的準(zhǔn)直孔和濾光片
Thick 8000 鍍層測厚儀是針對鍍層厚度測量而精心設(shè)計(jì)的新型儀器。主要應(yīng)用于:金屬鍍層的厚度測量、電鍍液和鍍層含量的測定;黃金、鉑、銀等貴金屬和各種首飾的含量檢測。
2、性能優(yōu)勢
精密的三維平臺
的樣品觀測系統(tǒng)
的圖像識別
輕松實(shí)現(xiàn)深槽樣品的檢測
四種微孔聚焦準(zhǔn)直器,自動切換
雙重保護(hù)措施,實(shí)現(xiàn)無縫防撞
采用大面積高分辨率探測器,有效降低檢出限,提高測試精度
全自動智能控制方式,一鍵式操作!
開機(jī)自動退出自檢、復(fù)位
開蓋自動退出樣品臺,升起Z軸測試平臺,方便放樣
關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺,下降Z軸測試平臺并自動完成對焦
直接點(diǎn)擊全景或局部景圖像選取測試點(diǎn)
點(diǎn)擊軟件界面測試按鈕,自動完成測試并顯示測試結(jié)果
3、技術(shù)指標(biāo)
分析元素范圍:從硫(S)到鈾(U)
同時檢測元素:多24個元素,多達(dá)五層鍍層
檢出限:可達(dá)2ppm,薄可測試0.005μm
分析含量:一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度:一般在50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)重復(fù)性:可達(dá)0.1%
穩(wěn)定性:可達(dá)0.1%
SDD探測器:分辨率低至eV
采用的微孔準(zhǔn)直技術(shù),小孔徑達(dá)0.1mm,小光斑達(dá)0.1mm
樣品觀察:配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準(zhǔn)直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與
Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組合
儀器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm
樣品室尺寸:520(W)x 395(D)x(H)mm
樣品臺尺寸:393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平臺速度:額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度 :小于0.1um
操作環(huán)境濕度:≤90%
操作環(huán)境溫度 15℃~30℃
性能優(yōu)勢
1、結(jié)合鍍層行業(yè)微小樣品的檢測需求,專門研發(fā)適用于鍍層檢測的超近光路系統(tǒng),減少能量過程損耗。搭載的多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦管,大的提升了儀器的檢測性能,聚焦強(qiáng)度提升1000~10000倍,更高的檢測靈敏度和分析精度以及高計(jì)數(shù)率保證測試結(jié)果的性和穩(wěn)定性。
2、全景+微區(qū)雙相機(jī)設(shè)計(jì),呈現(xiàn)全高清廣角視野,讓樣品觀察更全面;微米級別分辨率,的滿足超微產(chǎn)品的測試,讓測試更廣泛更便捷。
3、的多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù),信號強(qiáng)度比金屬準(zhǔn)直系統(tǒng)高出幾個數(shù)量級。
4、多規(guī)格可選的多導(dǎo)毛細(xì)管,的滿足用戶不同測試需求。
5、高精度XYZ軸移動測試平臺,結(jié)合雙激光點(diǎn)位定位系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)在樣品測試過程中的全自動化感受一鍵點(diǎn)擊,測試更省心。
江蘇天瑞儀器股份有限公司被授予 “火炬計(jì)劃”,“江蘇省”,“江蘇省軟件企業(yè)”,“江蘇省科技創(chuàng)新示范企業(yè)”,“江蘇省規(guī)劃布局內(nèi)軟件企業(yè)”,“江蘇省光譜分析儀器工程技術(shù)研究中心”等榮譽(yù)稱號。X熒光光譜儀系列產(chǎn)品被認(rèn)定為“新產(chǎn)品”和“江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品”。產(chǎn)品品種,為環(huán)境保護(hù)與安全、工業(yè)測試與分析及其它領(lǐng)域提供解決方案。
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